Electron-beam, X-ray and ion-beam technology: submicrometer lithographies IX - 7-8 March 1990, San Jose, California
- Författare
- (Douglas J. Resnick, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1990 | USA | 344 sidor. |